ANALISIS PENGARUH BILANGAN PENDULU KEDAP PROSES ELEKTROSADURAN BINGKAI PENDULU MENGGUNAKAN KAEDAH UNSUR TERHINGGA

Abstract

Bingkai pendulu merupakan komponen penting di dalam litar bersepadu (IC). Geometri yang
disadur dan saiz enapan yang terbentuk di atas bingkai pendulu ditentukan oleh kedap getah yang mengawal proses elektrosaduran dengan menentukan kawasan mana yang menerima elektrolit. Kedop ini yang terdiri daripada dua kamponen iaitu kedap atas yang diperbuat daripada getah berasaskan silikon (dimetyl silicone) dan kedap bawah yang diperbuat daripada bahan sepan yang dibalut oleh satu lapisan nipis getah berasaskun silikon. Pada keadaan tertentu, berlaku kebocoran yang terhasil di dalam bentuk resipan dan jujuh yang menyebabkan kecacatan permukaan. lni dipercayai berlaku akibat aliran elektrolit yang teriepas menerusi celah yang wujud di antara pendulu dan kedap. Aliran keluar ini akan menyebabkan proses saduran di tuar kawasan yang telah ditetapkan. Oleh itu kepentingan untuk memahami proses pembetukan celah dan interaksi celah dengan bilangan pendulu perlu diketahui. Analisis kaedah unsur terhingga dua dimensi telan dilakukan menggunakan model bahan Mooney-Rivlin untuk getah don model bahan Blatz-Ko bagi bahan sepan. Analisis sentuh digunakan bagi menentukan luas sentuhan dan kawasan yang tidak bersentuh dikira sebagai celah di antara pendulu. Beberapa turutan beban yang digunakan di dalam analisis ini memantau pengurangan saiz celah dengan beban yang dikenakan. Beberapa nilai bilangan pendulu digunakan di dalam analisis bagi menentukan kesan bilangan pendulu terhadap pembentukan celah. Keputusan yang diperolehi menunjukkan bahawa luas celah menjadi semakin kecil apabila bebanan meningkat dengan kecenderungan untuk mengecil secara lebih pantas bagi bilangan pendulu yang sedikit. Saiz celah maksimum sentiasa berlaku pada celah dalaman yang pertama dan terakhir. Saiz celah maksimum digunakan sebagai ukuran prestasi kedap. dan bila diplotkan melawan beban menunjukkan pengurangan luas celah dengan peningkatan beban. Keputusan ini menunjukkan bilangan pendulu adalah parameter penting yang mempengaruhi celah.